Sensormate フローセンサ 6K

PRODUCTS

製品概要

Sensormate 6Kシリーズは、20 sccm～10,000 sccmの低流量域に対応したマニホールド取付型MEMS流量センサです。配管を介さずマニホールドへ直接組み込める構造で、装置の小型化や配管スペースの削減に適しています。アナログ出力、デジタル出力に対応し、Non Linear Output仕様にも対応可能です。

＜特徴＞

20 sccm～10,000 sccmの低流量レンジに対応
マニホールドへ直接取り付け可能
小型MEMS式で装置組み込みに適した設計
アナログ出力／デジタル出力に対応
Non Linear Output仕様に対応可能

SPECIFICATION

製品仕様

流量範囲	20～10,000sccm ※カスタマイズ可能流量換算表
流方向	片方向・両方向
動作温度	0～50℃ ※カスタマイズ可能
駆動電圧	※カスタマイズ可能 ※お問い合わせください。
出力タイプ	デジタル・アナログ
精度	±4.0FS ※カスタマイズ可能
接続	※カスタマイズ可能 ※お問い合わせください。
本体材質	プラスチック
使用可能媒体	気体

SIZE

センサ寸法

PURPOSE

主な用途

プロセスコントロール	HVAC(暖房･換気･空調)	環境測定装置
ファクトリーオートメーション	ガス検知器	分析装置
医療機器	麻酔器	呼吸器
酸素吸入器	無呼吸診断装置

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