- MEMSウェハ製造
- プロセス開発
設計から量産まで、最短・最安で形にする
MEMSファウンドリーサービス
APM(Asia Pacific Microsystems)は、台湾の新竹に所在し、長年MEMSファウンドリーサービスを提供している会社です。家電、自動車、産業、通信、生物医学など、様々な業界の多くのお客様にサービスを提供しています。
詳しい資料はこちら


設計から量産まで、最短・最安で形にする
APM(Asia Pacific Microsystems)は、台湾の新竹に所在し、長年MEMSファウンドリーサービスを提供している会社です。家電、自動車、産業、通信、生物医学など、様々な業界の多くのお客様にサービスを提供しています。
詳しい資料はこちら


PROBLEM

MEMSデバイスの開発を進めたいものの、社内に製造設備がなく、試作から量産まで相談できる委託先が見つからない。特に試作や特殊プロセスに対応できるファウンドリーが少なく、開発が止まっていませんか?

研究開発レベルでは形になっていても、量産を見据えたプロセス設計や歩留まり改善、安定供給に不安がある。試作だけで終わらず、量産まで見据えて相談できる製造パートナーを探していませんか?

海外MEMSファウンドリーを検討したいが、技術仕様のすり合わせ、工程確認、品質面の確認、商流対応に不安がある。日本語で相談できる窓口がなく、問い合わせや仕様調整に時間がかかっていませんか?
SOLUTION
APMのMEMS Expressと豊富な製造実績により、試作・プロセス検討・量産移行までを支援。
MEMS Expressとは、APMが蓄積してきたMEMS製造ノウハウ・設計ライブラリ・既存プロセスを活用し、開発期間やコストの低減、量産移行の短縮を目指す仕組みです。ゼロからすべてを立ち上げるのではなく、実現可能性・量産性・コストを踏まえた現実的な開発方法をご提案します。
試作段階から量産性を意識し、工程安定性や再現性を考慮したプロセス検討を行います。製品化を見据え、開発から量産移行まで円滑且つ柔軟な支援をします。
圧力センサ、フローセンサ、光学デバイス、マイクロ流体デバイスなど、さまざまなMEMSデバイスの製造実績を活用。用途や要求仕様に応じて、最適なプロセス構成を検討します。
海外ファウンドリーとのやり取りに不安があるお客様もご安心ください。当社が英語での技術確認・仕様調整・見積依頼・納期確認をサポートします。日本語で相談しながら、APMのMEMS製造サービスを活用できます。
PRODUCTS
以下は、実績あるプロセスプラットフォームを活用して開発期間の短縮を図る「MEMS Express」の主な対象製品です。
なお、MEMS Expressの対象外となるデバイスについても、
お客様の仕様や構造に合わせたカスタムMEMSファウンドリとして、プロセス開発から試作・量産まで対応しています。
TECHNOLOGY & EXPERIENCE
APMは、MEMSデバイス開発、ガラスウェハ加工、シリコン・ガラス複合プロセス、ウェハレベル接合など、
幅広いMEMSプロセス技術を保有しています。

圧力センサ、フローセンサ、アクチュエータ、加速度センサ向けWLP、光学MEMSなど、さまざまなMEMSデバイスの開発・製造実績があります。用途に応じた構造設計・プロセス提案が可能です。

構造化ガラス、Silicon-on-Glassなど、ガラス基板を活用したMEMSプロセスに対応しています。センサ、RF・光学基板、マイクロ流体、バイオ・医療用途などに活用できます。

DRIE、SOI、STI、各種接合プロセスなど、MEMS製造に必要な基盤技術を組み合わせたプロセス開発が可能です。
FLOW
STEP
01
用途・要求仕様・スケジュールなどをお伺いします。
工程フローや参考資料がある場合は、ご共有いただけるとスムーズです。
図面や仕様書が未作成の段階でも、お気軽にご相談ください。
STEP
02
APMの製造実績や既存プロセスをもとに、開発可否や量産化の方向性を確認します。
そのうえで、要求仕様・工程条件・評価項目などを詳しくすり合わせます。
STEP
03
開発仕様書、開発費用、NREの納期、量産時の概算見積などを整理します。
STEP
04
開発仕様書に基づき、評価用サンプルを作製します。
STEP
05
NREの結果をもとに、設計修正や追加検証の必要性を整理します。
そのうえで、設計検証・工程検証・量産認定など、必要なステップを経て量産化に向けて進めます。
STEP
06
量産条件を確定し、初期Lotから量産を開始します。品質・納期・供給状況を確認しながら、安定した量産体制へ移行します。
FAQ
Q.
A.
APM(Asia Pacific Microsystems, Inc.)は、台湾・新竹に拠点を置くMEMSファウンドリー企業です。
2001年の設立以来、圧力センサ、光学アクチュエータ、シリコン光学ベンチ、マイクロ流体構造など、さまざまなMEMSデバイスの開発・製造を手がけてきました。台湾の半導体・電子産業が集積するエリアに拠点を持ち、開発・製造に必要な工程やサプライヤー連携を活かしたワンストップ対応が可能です。これにより、開発期間やコストの削減、量産移行までのスムーズな支援ができます。
Q.
A.
弊社アイテクソリューションは、APMの日本総代理店です。
APMのMEMSファウンドリーサービスについて、日本国内のお客様向けに技術相談、仕様確認、見積・納期調整などを日本語でサポートしています。
Q.
A.
開発費は、要求仕様・工程内容・評価範囲によって変動します。
MEMS Expressの既存プロセスを活用できる場合は、比較的費用を抑えて進めることが可能です。標準プロセス・設計ルールに適合する場合は数百万円前半、一部カスタマイズが必要な場合は数百万円後半が一つの目安となります。
標準プロセスに適合しない場合は、仕様を確認したうえで個別にご提案いたします。
Q.
A.
MEMS Expressとは、APMのMEMS製造ノウハウ・設計ライブラリ・既存プロセスを活用し、開発期間・コストの低減や量産移行の短縮を目指す仕組みです。
圧力センサ、フローセンサ、光学デバイス、マイクロ流体デバイスなど、さまざまなMEMSデバイスの開発・製造ノウハウを活かし、現実的な開発方法をご提案します。

Q.
A.
要求仕様・開発内容・評価範囲によって異なります。
まずは仕様確認後、NREのスケジュールをご提示します。量産移行までのスケジュールは、NREの評価結果や追加検証の有無を踏まえてご提案します。
Q.
A.
NREのお見積時に、概算ではありますが量産時の価格目安もあわせてご提示します。
最終的な量産価格は、設計検証・工程検証・量産認定など、必要なステップ完了後の内容を踏まえて確定見積としてご案内します。
Q.
A.
ご安心ください。アイテクソリューションは日本国内の会社です。
英語対応が可能な日本人担当者が、仕様確認からメーカーとの調整、納期・見積対応まで日本語でサポートいたします。
PROCESS
APMでは、MEMS開発・量産に必要な主要プロセスに対応しています。
成膜、フォトリソグラフィ、エッチング、ウェハ接合、ダイシング、計測まで、要求仕様に応じた工程構成をご提案します。
掲載しているプロセスは一例であり、記載以外の工程や組み合わせについても個別に検討可能です。
各種薄膜形成プロセスに対応し、絶縁膜・機能膜・金属膜の形成が可能です。MEMSデバイスの構造形成や電気特性の設計に応じて、適切な成膜条件をご提案します。
01


02
フォトリソグラフィ工程として、レジスト塗布、露光、現像に対応しています。片面・両面アライメントに対応し、MEMS構造形成に必要なパターン加工を支援します。
ドライエッチング、ウェットエッチングの両方に対応し、シリコン、酸化膜、SiN、金属、ガラスなどの加工が可能です。MEMSデバイスに必要な微細加工や深掘り加工に対応します。
03


04
B、P、Asなどのイオン注入に対応し、デバイス特性に応じたドーピングが可能です。必要に応じてアニール工程まで対応します。
各種ウェハ接合プロセスに対応し、MEMSデバイスの封止・構造形成・複合基板化を支援します。用途や構造に応じて、適切な接合方式をご提案します。
05


06
ウェハ薄化、ダイシング、外観検査など、チップ化に向けた後工程に対応しています。試作品から量産品まで、安定した後工程処理を支援します。
プロセス後の膜厚、形状、電気特性などを確認する各種計測に対応しています。工程条件の最適化や品質確認のための評価を行います。
07

QUALITY
国際規格に基づく 認証取得と、APQP・FMEA・MSA・SPC・PPAPなどの品質プロセスにより、
試作開発から量産まで品質と再現性を重視した製造体制を構築しています。
品質・環境・労働安全衛生に関する国際認証を取得。MEMSの試作から量産まで、安定した品質管理体制で対応します。

設計・開発、製品/工程検証、解析・計画、量産管理まで、各工程で品質リスクを管理します。

APQPやFMEAを活用し、量産性・品質リスクを見据えた設計/工程検討を行います。
MSA・SPCなどにより、測定ばらつきや工程安定性を確認し、再現性を高めます。
PPAPなどの量産承認プロセスを通じて、量産開始後の品質維持を支援します。
お見積りのご相談から、技術的な実現可否の確認まで、
貴社のチームの一員として誠実に対応いたします。
お電話でのお問い合わせ
03-5937-8866 (平日9時〜18時)
FAXでのお問い合わせ
03-5937-8566 (24時間受付)
Copyright © 2026 AITECH SOLUTION CORPORATION All Rights Reserved.