流量換算表

流量単位は国際単位系(SI)において、立法メートル毎秒が用いられていることが多いです。
半導体分野では、L/mだけでなくSLM(Standard Litter Min)・SLPM・sccmなどの単位で表記している企業も多数ございます。
流量計測の分野では、温度・圧力によって流体量が変化する(ボイル・シャルルの法則)ため、Standardいわゆる基準となる温度と圧力条件で定義する必要があります。
この基準値はメーカーによって異なるため、各メーカーに確認することをおすすめします。

流量換算表

単位	slpm(slm)	sccm=(mL/m)	L/s	mL/s	m3/m	m3/s	Pa m3/s	Torr l/s	mbar l/s
slpm(slm)	1	1000	0.016666667	16.66666667	0.001	1.67E-05	1.69	12.7	16.9
sccm=(mL/m)	0.001	1	1.66667E-05	0.016666667	0.000001	1.66667E-08	0.00169	0.0127	0.0169
L/s	60	60000	1	1000	0.06	0.001	101.4	762	1014
mL/s	0.06	60	0.001	1	6E-05	0.000001	0.1014	0.762	1.014
m3/m	1000	1000000	16.66666667	16666.66667	1	0.016666667	1690	12700	16900
m3/s”	6.00E+04	6.00E+07	1.00E+03	1.00E+06	6.00E+01	1.00E+00	1.01E+05	7.62E+05	1.01E+06
Pa m3/s	0.591715976	591.7159763	0.009861933	9.861932939	0.000591716	9.86193E-06	1	7.514792899	10
Torr l/s	0.078740157	78.74015748	0.001312336	1.312335958	7.87402E-05	1.31234E-06	0.133070866	1	1.330708661
mbar l/s	0.059171598	59.17159763	0.000986193	0.986193294	5.91716E-05	9.86193E-07	0.1	0.75147929	1

(注)参考値としてご利用ください。

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