SOLUTIONS

MEMSセンサソリューション

近年、MEMS(微小電気機械システム)センサの需要が、自動車、医療、半導体、計測などの幅広い業界で急速に高まっている状況において、弊社ビジネスモデルでは、APM社のMEMS製品の開発から量産まで一貫したMEMSファウンドリサービスを提供しております。弊社は、台湾のAPM社とSensormate社との長年の繋がりから、円滑なコミュニケーションを可能としております。
その一つのAPM社では、受託開発・加工・生産まで可能なMEMSファウンドリサービスを行っております。お客様の海外メーカー購入の敷居をフラットに進め、仕様の詳細確認や各種交渉など柔軟に対応致します。

APMとは

2001年に設立されて以来、長年にわたりMicro Electro Mechanical Systems(MEMS)ファウンドリサービスを提供している台湾・新竹に所在する会社です。MEMSファウンドリ業界の中では世界TOPランキングに含まれております。MEMS製造においては、開発から製品導入プロセスまでお客様ごとに調整していくため、MEMS量産化における多様なニーズに効率的且つ柔軟に対応することが可能です。各微細加工/技術を用しているため、単工程・部分工程の受託も承っております。
また、ウェハでの提供だけでなく、ダイシング後のチップトレーでの納品なども柔軟対応致します。独自の設計ライブラリを蓄積したサービス『MEMS Express』のほか、さまざまなMEMSデバイスのプロセス開発に携わってきたAPM社は、MEMSのプロ集団として、お客様が抱える課題に対し、技術面においての専門的なアドバイスや支援を迅速に提供し解決いたします。

PRODUCT 

各種製品紹介

MEMS Express

APMでは、ウェハ製造の豊富な経験により、簡易的な設計の変更やパフォーマンス機能追加に柔軟に対応するために、独自の設計ライブラリを蓄積しております。そのサービスを『MEMS Express』と呼んでおります。
『MEMS Express』を活用することで、開発期間を大幅に短縮・開発コストの削減・量産への移行短縮を実現します。
※『MEMS Express』に含まれないMEMS構造も受託すること、可能です。

圧力センサ

サーモパイル

オプティカルベンチ

流量センサ/ガスセンサ
温度センサ

WHY CHOOSE US?

APMが選ばれる理由

課題を解決する技術力

2001年より、MEMSの開発と製造における経験を蓄積したAPMは、世界TOP10のMEMSファウンドリの1社です。
様々なMEMSデバイスのプロセス開発に携わってきた長い歴史を持つAPMは、MEMS専門のプロ集団として迅速な支援ができます。

製品製造プロセスの柔軟性

APMではお客様のMEMSデバイスをいかに実現するかを考えております。APMはポリマー、ガラス基板、特殊な貴金属、両面ウェハプロセス、その他のより高度なMEMS材料など、【MEMSプロセスと材料の多様なニーズ】を探求します。さらに、APMは高アスペクト比のシリコンICPエッチャー、ウェハ接合マシン、柔軟な製造プロセスモジュールなど、専用のMEMS処理ツールも所有しており、様々な種類のMEMSセンサとアクチュエーターにおけるお客様の要求を実現しています。

拠点による利点

台湾の新竹サイエンスパークには、世界的に有名な電気・電子企業があり、あらゆる電子製品の垂直統合の需要を提供できます。この地域に拠点を置くことで、ワンストップショッピングが可能となり、輸送と物流コストの削減だけでなく、生産開発から製造における貴重な時間の削減ができます。特に、高度に細分化されたMEMS業界では、競争力を維持するべく上流・下流のサプライヤーをより緊密に統合する必要があります。APMは、この地域のMEMS技術で長期にわたる産業パートナーを擁しており、必要に応じてウェハレベル処理を超えた推奨事項や紹介をタイムリーに提供します。お客様がMEMS製品の大量生産に成功するよう支援することができます。
日本のお客様にとってBCP(事業継続計画)対策に最適な選択です。台湾は日本に近く、輸送距離が短いため、迅速かつ効率的な物流を実現できます。また、日本の工場が停止した際にも、地の利を活かしてスムーズに対応することが可能です。距離のメリットを最大限に活かし、コスト削減とリスク管理の両面でお客様のビジネスをしっかりと支えます。

徹底した品質管理

APMは広範なトレーニングにより、厳しい品質要件を満たすべく、統計データ分析、PFMEA、Ford 8Dアプローチなどの作業プロセスと問題解決方法を強化いたしました。継続的な実践を通じて、優れた品質を維持し続けることはAPMの考え方であり、文化でもあります。お客様にとって品質がいかに重要であるかを理解しております。自動車業界におけるお客様の要件を満たすだけでなく、他のアプリケーションについてもお客様に大きな利益をもたらします。何百万もの自動車グレードのMEMSデバイスを自動車業界のお客様に出荷した実績があり、APMは品質と大量生産を同時に保証できる世界をリードするMEMSファウンドリであることを証明しております。

CAPABILITIES

APMの技術

受託可能な製造プロセス

受託可能な製造プロセスは、成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・イオン注入・接合・ダイシング・検査など多岐にわたります。

成膜・蒸着

・スパッタリング:AlCu/Cu/Pt/Ta/Ta2O5/Ti/TiN/Au/TaAl/TiW/AlSiCu/AL
・蒸着:Ti/Au/Cu/Pt/Ni/Ag/Cr/Al/AuSn
・PECVD:Si/SiN/SiO2/Sic/PSG/BPSG
・LPCVD:SiN/Poly-Si/SiO2(熱酸化膜)/金属合金

塗布・露光・現像

・5:1 G線ステッパー
・1:1 両面アライナー
・自動両面塗布/現像システム
・斜め側壁用スプレーコーター
・特殊素材:ポリイミド/BCB/SU8/PBO/LOR

エッチング

【ドライエッチング】
・DRIE ・メタルエッチャー ・Poly-Siエッチャー ・SiO/SiNエッチャー
【ウェットエッチング】
・ウェハ洗浄 ・フォトレジストストリッパー ・メタルエッチング液 ・酸化物エッチング液 ・SiNエッチング液 ・メタルリフトオフ ・KOHエッチング

イオン注入

・中電流:Maxエネルギー:160keV / ドーズ量:1012-1014 atom/cm2
・高電流:Maxエネルギー:120keV / ドーズ量: 1014-1016 atom/cm2
・イオンの種類:B/BF2/P/As
・アニール

ウェハ接合

・ウェハのSi/SOIの陽極接合
・キャビティ有無の融着
・Au/SN、Ge/Al共晶ボンディング
・接着剤による接合
・サンドウィッチ接合(ガラス-Si-ガラス/Si-ガラス-Si等)

ダイシング・検査

【ダイシング】
・ブレードダイシング ・ステルスダイシング ・ウェハ研磨
【検査】
・AOI(自動光学検査) ・自動プローブ検査 ・パラメトリック試験

計測

・SEM/EDS分析(エネルギー分散型X線分光法) ・白色干渉計
・IRマイクロスコープ ・膜厚測定 ・CD測定 ・欠陥検査
・表面形状測定 ・膜応力測定 ・シート抵抗測定 ・FTIR

KEY TECHNOLOGIES

各種技術

受託可能な製造プロセスは、成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・イオン注入・接合・ダイシング・検査など多岐にわたります。

構造技術

・キャビティ付きSOI/SOG
・STI
・レイヤー転写技術
・薄膜ウェハ処理(~200μm)

プロセス技術

・DRIEエッチング
・ナノチッププロセス
・3D構造のパターニング

ウェハレベルのボンディング

・融着結合(Si-Si/Si-SiO2/SiO2-SiO2)
・陽極接合(SGS・GSGサンドイッチ接合など)
・低温接着
・ハーメチックシール用の共晶結合
・Si及びガラス貫通穴(TSV/TGV)

PROVEN TRACK RECORD

主な納入実績

・Tier-1サプライヤへの圧力センサ納入
・大手家電メーカーへの圧力センサ納入
・HUD&Liderアプリケーション用光学マイクロミラー
・車室内用フォースセンサ
・車室内用ガスセンサ
・車室内用流量センサ
・マイクロフォン(約6,000万チップ)
・マイクロミラー
・シリコンオプティカルベンチ

CONTACT

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ABOUT US

会社概要

会社名

株式会社アイテクソリューション

所在地

〒164-0003 東京都中野区東中野2-22-20 ホシノ第2ビル4F

TEL

03-5937-8866

FAX

03-5937-8566

事業内容

・MEMS圧力センサ/流量センサ/MEMSファウンドリーの販売
・各種制御機器/ソフトウェアの販売
・アルミ安全柵の設計/販売

設立

2021年10月

資本金

900万円

代表取締役

二宮 健