PROBLEM

MEMSデバイスを作りたいのに、試作から量産まで対応できる製造先が見つからなくて…
社内設備では対応できず、開発が止まっている。


SOLUTIONS

近年、MEMS(微小電気機械システム)センサの需要が、自動車、医療、半導体、計測などの幅広い業界で急速に高まっている状況において、弊社ビジネスモデルでは、APM社のMEMS製品の開発から量産まで一貫したMEMSファウンドリサービスを提供しております。弊社は、台湾のAPM社とSensormate社との長年の繋がりから、円滑なコミュニケーションを可能としております。
その一つのAPM社では、受託開発・加工・生産まで可能なMEMSファウンドリサービスを行っております。お客様の海外メーカー購入の敷居をフラットに進め、仕様の詳細確認や各種交渉など柔軟に対応致します。

2001年に設立されて以来、長年にわたりMicro Electro Mechanical Systems(MEMS)ファウンドリサービスを提供している台湾・新竹に所在する会社です。MEMSファウンドリ業界の中では世界TOPランキングに含まれております。MEMS製造においては、開発から製品導入プロセスまでお客様ごとに調整していくため、MEMS量産化における多様なニーズに効率的且つ柔軟に対応することが可能です。各微細加工/技術を用しているため、単工程・部分工程の受託も承っております。
また、ウェハでの提供だけでなく、ダイシング後のチップトレーでの納品なども柔軟対応致します。独自の設計ライブラリを蓄積したサービス『MEMS Express』のほか、さまざまなMEMSデバイスのプロセス開発に携わってきたAPM社は、MEMSのプロ集団として、お客様が抱える課題に対し、技術面においての専門的なアドバイスや支援を迅速に提供し解決いたします。
WHY CHOOSE US?

2001年より、MEMSの開発と製造における経験を蓄積したAPMは、世界TOP10のMEMSファウンドリの1社です。
様々なMEMSデバイスのプロセス開発に携わってきた長い歴史を持つAPMは、MEMS専門のプロ集団として迅速な支援ができます。


APMではお客様のMEMSデバイスをいかに実現するかを考えております。APMはポリマー、ガラス基板、特殊な貴金属、両面ウェハプロセス、その他のより高度なMEMS材料など、【MEMSプロセスと材料の多様なニーズ】を探求します。さらに、APMは高アスペクト比のシリコンICPエッチャー、ウェハ接合マシン、柔軟な製造プロセスモジュールなど、専用のMEMS処理ツールも所有しており、様々な種類のMEMSセンサとアクチュエーターにおけるお客様の要求を実現しています。


台湾の新竹サイエンスパークには、世界的に有名な電気・電子企業があり、あらゆる電子製品の垂直統合の需要を提供できます。この地域に拠点を置くことで、ワンストップショッピングが可能となり、輸送と物流コストの削減だけでなく、生産開発から製造における貴重な時間の削減ができます。特に、高度に細分化されたMEMS業界では、競争力を維持するべく上流・下流のサプライヤーをより緊密に統合する必要があります。APMは、この地域のMEMS技術で長期にわたる産業パートナーを擁しており、必要に応じてウェハレベル処理を超えた推奨事項や紹介をタイムリーに提供します。お客様がMEMS製品の大量生産に成功するよう支援することができます。
日本のお客様にとってBCP(事業継続計画)対策に最適な選択です。台湾は日本に近く、輸送距離が短いため、迅速かつ効率的な物流を実現できます。また、日本の工場が停止した際にも、地の利を活かしてスムーズに対応することが可能です。距離のメリットを最大限に活かし、コスト削減とリスク管理の両面でお客様のビジネスをしっかりと支えます。


APMは広範なトレーニングにより、厳しい品質要件を満たすべく、統計データ分析、PFMEA、Ford 8Dアプローチなどの作業プロセスと問題解決方法を強化いたしました。継続的な実践を通じて、優れた品質を維持し続けることはAPMの考え方であり、文化でもあります。お客様にとって品質がいかに重要であるかを理解しております。自動車業界におけるお客様の要件を満たすだけでなく、他のアプリケーションについてもお客様に大きな利益をもたらします。何百万もの自動車グレードのMEMSデバイスを自動車業界のお客様に出荷した実績があり、APMは品質と大量生産を同時に保証できる世界をリードするMEMSファウンドリであることを証明しております。

CAPABILITIES
受託可能な製造プロセスは、成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・イオン注入・接合・ダイシング・検査など多岐にわたります。


・スパッタリング:AlCu/Cu/Pt/Ta/Ta2O5/Ti/TiN/Au/TaAl/TiW/AlSiCu/AL
・蒸着:Ti/Au/Cu/Pt/Ni/Ag/Cr/Al/AuSn
・PECVD:Si/SiN/SiO2/Sic/PSG/BPSG
・LPCVD:SiN/Poly-Si/SiO2(熱酸化膜)/金属合金


・5:1 G線ステッパー
・1:1 両面アライナー
・自動両面塗布/現像システム
・斜め側壁用スプレーコーター
・特殊素材:ポリイミド/BCB/SU8/PBO/LOR


【ドライエッチング】
・DRIE ・メタルエッチャー ・Poly-Siエッチャー ・SiO/SiNエッチャー
【ウェットエッチング】
・ウェハ洗浄 ・フォトレジストストリッパー ・メタルエッチング液 ・酸化物エッチング液 ・SiNエッチング液 ・メタルリフトオフ ・KOHエッチング








KEY TECHNOLOGIES
受託可能な製造プロセスは、成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・イオン注入・接合・ダイシング・検査など多岐にわたります。



PROVEN TRACK RECORD
・Tier-1サプライヤへの圧力センサ納入
・大手家電メーカーへの圧力センサ納入
・HUD&Liderアプリケーション用光学マイクロミラー
・車室内用フォースセンサ
・車室内用ガスセンサ
・車室内用流量センサ
・マイクロフォン(約6,000万チップ)
・マイクロミラー
・シリコンオプティカルベンチ
CONTACT
ABOUT US
会社名 | 株式会社アイテクソリューション |
|---|---|
所在地 | 〒164-0003 東京都中野区東中野2-22-20 ホシノ第2ビル4F |
TEL | 03-5937-8866 |
FAX | 03-5937-8566 |
事業内容 | ・MEMS圧力センサ/流量センサ/MEMSファウンドリーの販売 |
設立 | 2021年10月 |
資本金 | 900万円 |
代表取締役 | 二宮 健 |